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1
Tailoring the soft magnetic properties of sputtered multilayers by microstructure engineering for high frequency applications
von
Falub, Claudiu V.
,
Rohrmann, Hartmut
,
Bless, Martin
,
Meduňa, Mojmír
,
Marioni, Miguel
,
Schneider, Daniel
,
Richter, Jan H.
,
Padrun, Marco
Veröffentlicht in
AIP advances
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Artikel
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METHOD OF SPUTTER-COATING SUBSTRATES OR OF MANUFACTURING SPUTTER COATED SUBSTRATES AND APPARATUS
von
Schwyn Thöny, Silvia
,
Padrun, Marco
,
Good, Romeo
,
Schüngel, Edmund
,
Gees, Silvio
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Patent
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3
METHOD OF SPUTTER-COATING SUBSTRATES OR OF MANUFACTURING SPUTTER COATED SUBSTRATES AND APPARATUS
von
PADRUN, Marco
,
GOOD, Romeo
,
SCHWYN THÖNY, Silvia
,
SCHÜNGEL, Edmund
,
GEES, Silvio
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Patent
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4
PROCESS OF COATING A SUBSTRATE WITH A THIN FILM OF METAL OR SEMICONDUCTOR COMPOUND
von
PADRUN, Marco
,
BIEDERMANN, Patrick
,
WALDNER, Stefan
,
SCHWYN THÖNY, Silvia
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5
METHOD OF SPUTTER-COATING SUBSTRATES OR OF MANUFACTURING SPUTTER COATED SUBSTRATES AND APPARATUS
von
PADRUN, Marco
,
GOOD, Romeo
,
SCHWYN THÖNY, Silvia
,
SCHÜNGEL, Edmund
,
GEES, Silvio
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Patent
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6
VACUUM PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR VACUUM PROCESSING SUBSTRATES
von
Padrun, Marco
,
Good, Romeo
,
Schwyn-Thony, Silvia
,
Cheseaux, Michael
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Patent
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7
VACUUM PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR VACUUM PROCESSING SUBSTRATES
von
PADRUN, Marco
,
CHESEAUX, Michael
,
GOOD, Romeo
,
SCHWYN-THÖNY, Silvia
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Patent
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8
VACUUM PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR VACUUM PROCESSING SUBSTRATES
von
PADRUN, Marco
,
CHESEAUX, Michael
,
GOOD, Romeo
,
SCHWYN-THÖNY, Silvia
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Patent
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9
기판의 스퍼터 코팅 방법 또는 스퍼터 코팅 기판의 제조방법 및 장치
von
SCHUNGEL EDMUND
,
SCHWYN THONY SILVIA
,
GEES SILVIO
,
PADRUN MARCO
,
GOOD ROMEO
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Patent
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10
PROCESS OF COATING A SUBSTRATE WITH A THIN FILM OF METAL OR SEMICONDUCTOR COMPOUND
von
SCHWYN THÖNY, SILVIA
,
WALDNER, STEFAN
,
BIEDERMANN, PATRICK
,
PADRUN, MARCO
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Patent
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11
Method of sputter-coating substrates or of manufacturing sputter coated substrates and apparatus
von
SCHUENGEL, EDMUND
,
GOOD, ROMEO
,
GEES, SILVIO
,
SCHWYN THOENY, SILVIA
,
PADRUN, MARCO
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Patent
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12
PROCESS OF COATING A SUBSTRATE WITH A THIN FILM OF METAL OR SEMICONDUCTOR COMPOUND
von
SCHWYN THOENY, SILVIA
,
WALDNER, STEPHAN
,
BIEDERMANN, PATRICK
,
PADRUN, MARCO
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Patent
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13
진공처리장치 및 진공처리기판 제조방법
von
CHESEAUX MICHAEL
,
SCHWYN THOENY SILVIA
,
PADRUN MARCO
,
GOOD ROMEO
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Patent
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14
Vacuum processing apparatus and method for vacuum processing substrates
von
SCHWYN-THONY SILVIA
,
CHESEAUX MICHAEL
,
PADRUN MARCO
,
GOOD ROMEO
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Patent
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15
Vacuum processing apparatus and method for vacuum processing substrates
von
SCHWYN-THOENY, SILVIA
,
GOOD, ROMEO
,
CHESEAUX, MICHAEL
,
PADRUN, MARCO
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Patent
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