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Full Range Work Function Tuning of MOSFETs using Interfacial Yttrium Layer in fully Germanided Ni Gate
von
Yu, Hong Peng
,
Pey, Kin Leong
,
Choi, Wee Kiong
,
Antoniadis, Dimitri A.
,
Fitzgerald, Gene A.
,
Dawood, Mohammed Khalid
,
Ow, Kai Qun
,
Chi, Dong Zhi
Veröffentlicht in
ECS transactions
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Full Range Work Function Tuning of MOSFETs using Interfacial Yttrium Layer in fully Germanided Ni Gate
von
Yu, Hong Peng
,
Pey, Kin Leong
,
Choi, Wee Kiong
,
Antoniadis, Dimitri A.
,
Fitzgerald, Gene A.
,
Dawood, Mohammed Khalid
,
Ow, Kai Qun
,
Chi, Dong Zhi
Veröffentlicht in
Meeting abstracts (Electrochemical Society)
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