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    Verfahren zum Ausbilden einer Halbleiterwaferstruktur für integrierte Schaltungseinheiten

    Verfahren zum Ausbilden einer Halbleiterwaferstruktur für integrierte Schaltungseinheiten von Yau, Jeng-Bang, Dennard, Robert Heath, Ouyang, Qiging Christine

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    Silicium-auf Isolator-Hybridwafer mit Doppel-Box-Rückgate und Kanälen mit verbesserter Beweglichkeit

    Silicium-auf Isolator-Hybridwafer mit Doppel-Box-Rückgate und Kanälen mit verbesserter Beweglichkeit von DENNARD, ROBERT HEATH, OUYANG, QIGING CHRISTINE, YAU, JENG-BANG

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