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    Evaluation of filling behavior on UV nanoimprint lithography using release coating

    Evaluation of filling behavior on UV nanoimprint lithography using release coating von Osari, Kazutomo, Unno, Noriyuki, Taniguchi, Jun, Machinaga, Ken-ichi, Ohsaki, Takeshi, Sakai, Nobuji

    Veröffentlicht in Microelectronic engineering

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    Filling Behavior Observation on UV Nanoimprint Lithography

    Filling Behavior Observation on UV Nanoimprint Lithography von Unno, Noriyuki, Osari, Kazutomo, Machinaga, Ken-ichi, Taniguchi, Jun, Ohsaki, Takeshi, Sakai, Nobuji


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