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水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるHVPE-In2O3成長層のエッチング特性の熱力学的検討
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるHVPE-In2O3成長層のエッチング特性評価
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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InGaN/GaN屈折率導波路型フォトニック結晶デバイスに向けたHEATE法による三角ナノホール構造の面方位依存性検討
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InGaN/GaN屈折率導波路型フォトニック結晶デバイスに向けたHEATE法による高アスペクトナノホールアレイの作製
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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HEATE法で作製したInGaN/GaN極微細ナノピラーに対する飽和オゾン水処理による表面パッシベーション効果
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水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法におけるアンモニア添加を利用した高アスペクトp-GaN ナノ構造の作製
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によって作製したInGaN/GaN極微細量子井戸ナノピラーのフォトルミネッセンス評価
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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