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A new fabrication method of low stress PECVD SiNx layers for biomedical applications
Veröffentlicht in Thin solid films
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A new fabrication method of low stress PECVD SiN x layers for biomedical applications
Veröffentlicht in Thin solid films
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A new fabrication method for low stress PECVD - SiN x layers
Veröffentlicht in Journal of physics. Conference series
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Deep Whole-Genome Sequencing of 100 Southeast Asian Malays
Veröffentlicht in American journal of human genetics
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