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Experimental characterization of non-Maxwellian electron energy distributions in a miniaturized microwave plasma neutralizer
von
Sekine, H.
,
Minematsu, R.
,
Ataka, Y.
,
Ominetti, P.
,
Koizumi, H.
,
Komurasaki, K.
Veröffentlicht in
Journal of applied physics
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