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    A MEMS Silicon-based Piezoelectric AC Current Sensor

    A MEMS Silicon-based Piezoelectric AC Current Sensor von Olszewski, Oskar Zbigniew, Houlihan, Ruth, O’Keeffe, Rosemary, O’Neill, Mike, Waldron, Finbarr, Mathewson, Alan, Jackson, Nathan

    Veröffentlicht in Procedia engineering

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