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    Thermal conductivity and sound velocity measurements of plasma enhanced chemical vapor deposited a-SiC:H thin films

    Thermal conductivity and sound velocity measurements of plasma enhanced chemical vapor deposited a-SiC:H thin films von Hondongwa, D.B., Olasov, L.R., Daly, B.C., King, S.W., Bielefeld, J.

    Veröffentlicht in Thin solid films

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