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Low-Temperature RF Plasma Treatment Effect on Junctionless Pd-Al 2 O 3 -InGaAs MISFET Operation
von
Gomeniuk, Yuri V.
,
Gomeniuk, Y Y.
,
Okholin, Pavel N
,
Nazarova, Tamara M.
,
Djara, Vladimir
,
Cherkaoui, Karim
,
Hurley, Paul K.
,
Nazarov, A. N.
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ECS transactions
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Enhanced recrystallization and dopant activation of P+ ion-implanted super-thin Ge layers by RF hydrogen plasma treatment
von
Nazarov, Alexei N.
,
Yukhymchuk, Volodymyr O.
,
Gomeniuk, Yurii V.
,
Kryvyi, Sergiy B.
,
Okholin, Pavel N.
,
Lytvyn, Petro M.
,
Kladko, Vasyl P.
,
Lysenko, Volodymyr S.
,
Glotov, Volodymyr I.
,
Golentus, Illya E.
,
Napolitani, Enrico
,
Duffy, Ray
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics
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Low-Temperature RF Plasma Treatment Effect on Junctionless Pd-Al2O3-InGaAs MISFET Operation
von
Gomeniuk, Yuri V.
,
Gomeniuk, Y Y.
,
Okholin, Pavel N
,
Nazarova, Tamara M.
,
Djara, Vladimir
,
Cherkaoui, Karim
,
Hurley, Paul K.
,
Nazarov, A. N.
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Low-Temperature RF Plasma Treatment Effect on Junctionless Pd-Al 2 O 3 -Ingaas Misfet Operation
von
Nazarov, Alexei
,
Gomeniuk, Yuri V.
,
Gomeniuk, Y Y.
,
Okholin, Pavel N
,
Nazarova, Tamara M.
,
Djara, Vladimir
,
Cherkaoui, Karim
,
Hurley, Paul K.
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Meeting abstracts (Electrochemical Society)
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