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    Passivation properties of plasma CVD AlN films for GaAs

    Passivation properties of plasma CVD AlN films for GaAs von HASEGAWA, F, TAKAHASHI, T, KUBO, K, OHNARI, S, NANNICHI, Y, ARAI, T


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    Deposition and Passivation Properties of Plasma CVD AlN Films on GaAs using Metalorganic Al Source

    Deposition and Passivation Properties of Plasma CVD AlN Films on GaAs using Metalorganic Al Source von Hasegawa, Fumio, Takahashi, Tsuyoshi, Kubo, Kiyokazu, Ohnari, Seinosuke, Nannichi, Yasuo, Arai, Toshiaki

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