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Method of forming a nozzle and an ink chamber of an ink jet device by etching a single crystal substrate
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OUDEJANS DIONYSIUS ANTIONIUS PETRUS
,
VAN DE SANDE HENRICUS JOHANNES ADRIANUS
,
BURGER GERARDUS JOHANNES
,
HIJMANS WILLEM MAURITS
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METHOD OF FORMING A NOZZLE AND AN INK CHAMBER OF AN INK JET DEVICE BY ETCHING A SINGLE-CRYSTAL SUBSTRATE
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