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Spatially resolved spectral phase interferometry with an isolated attosecond pulse
Veröffentlicht in Optics express
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Estimation of resist sensitivity for extreme ultraviolet lithography using an electron beam
Veröffentlicht in AIP advances
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Novel High Sensitivity EUV Photoresist for Sub-7 nm Node
Veröffentlicht in Journal of Photopolymer Science and Technology
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