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    A TITANIUM NITRIDE DIFFUSION BARRIER FOR USE IN NON-SILICON TECHNOLOGIES AND METALLIZATION METHOD

    A TITANIUM NITRIDE DIFFUSION BARRIER FOR USE IN NON-SILICON TECHNOLOGIES AND METALLIZATION METHOD von HARDER, CHRISTOPH, DEUTSCH, URS, DAETWYLER, ANDREAS, JAKUBOWICZ, ABRAM, OOSENBURG, ALBERTUS, WILLIAMS, ERICA, PATRICK, WILLIAM, ROENTGEN, PETER, LATTA, EBERHARD, HEUBERGER, WILHELM

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