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Optical encoder system, encoder head and lithographic apparatus
von
TEUNIS JAN IKKINK
,
LEON LEONARDUS FRANCISCUS MERKX
,
TOM VAN ZUTPHEN
,
JAN BART WOUTER VAN DER PUT
,
OLAF THEO JOS VREEDE
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Sensor assembly, digital serial bus and protocol, sensor network, and lithographic apparatus and system
von
PALM ADRIANUS JOHANNES
,
GIJSBERTSE RONALD
,
VREEDE OLAF THEO JOS
,
TILLIE FRANSISCUS ANTONIUS JOSEPHUS
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Sensor assembly, digital serial bus and protocol, sensor network, and lithographic apparatus and system
von
Vreede, Olaf Theo Jos
,
Palm, Adrianus Johannes
,
Gijsbertse, Ronald
,
Tillie, Fransiscus Antonius Josephus
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Patent
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4
SENSOR ASSEMBLY, DIGITAL SERIAL BUS AND PROTOCOL, SENSOR NETWORK, AND LITHOGRAPHY DEVICE AND SYSTEM
von
PALM ADRIANUS JOHANNES
,
TILLIE FRANSISCUS ANTONIUS J
,
GIJSBERTSE RONALD
,
VREEDE OLAF THEO JOS
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Patent
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Apparatus Specially Adapted Therefor
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Arrangements For Measuring Two Or More Variables Not Coveredin A Single Other Subclass
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Measuring
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Measuring Not Specially Adapted For A Specific Variable
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Measuring Or Testing Not Otherwise Provided For
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Tariff Metering Apparatus
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Testing
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Basic Electric Elements
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Biochemistry
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Chemistry
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Compositions Or Test Papers Therefor
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Condition-Responsive Control In Microbiological Orenzymological Processes
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Esp@Cenet
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Uspto Issued Patents
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