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    DEVICE FOR MEASURING GEOMETRIC PARAMETERS OF OBJECTS

    DEVICE FOR MEASURING GEOMETRIC PARAMETERS OF OBJECTS von OKSANICH A.P.,SU, SKAKOVSKIJ I.I.,SU, BABADZHANOV L.S.,SU, DANELYAN A.G.,SU

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    METHOD OF PRODUCING STANDARD MEASURE OF THICKNESS OF SEMICONDUCTOR LAYERS

    METHOD OF PRODUCING STANDARD MEASURE OF THICKNESS OF SEMICONDUCTOR LAYERS von OKSANICH A.P.,SU, SPEKTR S.A.,SU, TUZOVSKIJ A.M.,SU, SHAPOVAL V.YA.,SU, BABADZHANOV L.S.,SU

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