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Building of super high-efficiency processing technology based on innovative concept (Establishment of effective polishing process of SiC substrate using Dilatancy pad tool with bow...
Veröffentlicht in Kikai Gakkai ronbunshū = Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers
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革新的概念に基づく超高効率加工技術の構築(ダイラタンシー・パッド工具と液中加工システムによるSiC基板の効果的加工プロセスの確立)...
Veröffentlicht in 日本機械学会論文集
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三次元スタック構造の半導体デバイスにおけるコンフォーマル成膜技術に関する研究: 第1報 回転霧化エアロゾルスプレーによるTSVの成膜方法の提案とその装置化...
Veröffentlicht in 精密工学会誌
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Charge-changing cross sections for mirror nuclear pair, 22Ne and 22Mg
Veröffentlicht in Interactions (Cham, Switzerland)
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Induction of Radioresistance by a Nitric Oxide-Mediated Bystander Effect
Veröffentlicht in Radiation research
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