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Atomic Layer Selective GaN/SiN Etching by HBr Neutral Beam
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
VolltextArtikel -
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Gallium Nitride Atomic Layer Etching by Chlorine Neutral Beam
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
VolltextArtikel -
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Basic Etching Characteristics of GaN by Neutral Beam
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
VolltextArtikel -
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