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Structural Evaluation of Cu Films Grown by Cl 2 Plasma
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
VolltextArtikel -
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Low-temperature and Low-damage Metal CVD with High-density Cl2 Plasma
Veröffentlicht in Mitsubishi Juko Giho
VolltextArtikel -
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Thermal Expansion of Plasma Sprayed Y2SiO5 Coating
Veröffentlicht in Journal of the Japan Institute of Metals and Materials
VolltextArtikel -
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