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Enhanced EUV photoresist and methods of use thereof
von
LADA TOM
,
JACKSON EDWARD
,
ROTH JOHN
,
ROBINSON ALEX P. G
,
O 'CALLAGHAN GREG
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2
Enhanced EUV photoresist including a core tris(4-hydroxyphenyl)methane group and having improved sensitivity (photosensitivity), resolution (line width roughness), or both
von
MELONI, FERNANDA
,
MCCLELLAND, ALEXANDRA
,
JACKSON, ED
,
ROBINSON, ALEX P. G
,
NGUYEN, VAN HUY
,
O '' CALLAGHAN, GREG
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3
DERIVATIVES OF 4-HYDROXYPHENYLALKANOIC ACIDS, PROCESS OF THEIR PREPARATION AND PHARMACEUTICAL COMPOSITION CONTAINING THEREOF
von
HENKE BRAD RICHARD
,
BOSWELL GRADY EVAN
,
KALDOR ISTVAN
,
WILLSON TIMOTHY MARK
,
DEATON DAVID NORMAN
,
BRACKEEN MARCUS
,
SHARP MATTHEW JUDE
,
ERICKSON GREG ALAN
,
COLLINS JON LOREN
,
O CALLAGHAN JOHN MARK
,
MOOK ROBERT ANTHONY JR
,
COBB JEFFREY EDMOND
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4
Derivative of substituted 4-hydroxyphenylalkanoic acid and pharmaceutical composition
von
HENKE BRAD RICHARD
,
BOSWELL GRADY EVAN
,
KALDOR ISTVAN
,
WILLSON TIMOTHY MARK
,
DEATON DAVID NORMAN
,
BRACKEEN MARCUS
,
SHARP MATTHEW JUDE
,
ERICKSON GREG ALAN
,
COLLINS JON LOREN
,
O CALLAGHAN JOHN MARK
,
MOOK ROBERT ANTHONY JR
,
COBB JEFFREY EDMOND
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