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Characterization of SiCl4/N2 Plasmas
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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The effect of oxygen on the etch rate of NF3 discharges
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Mass spectrometric characterization of BCl3/SF6 plasmas
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Undergraduate research and intellectual property rights
Veröffentlicht in IEEE transactions on education
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Characterization of SiCl[sub 4]/N[sub 2] Plasmas
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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GaAs etch rate enhancement with SF6 addition to BCI3plasmas
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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The Effect of Oxygen on the Etch Rate of NF 3 Discharges
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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