-
1
-
2
Irradiation effects of liquid cluster ion beams on silicon surfaces
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
VolltextArtikel -
3
-
4
Production of Liquid Cluster Ions for Surface Treatment
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
VolltextArtikel -
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20