Ablation of EUV Multilayers Using Femto-Second Extreme Ultra-Violet Pulses von Ichimaru, Satoshi, Nishikino, Masaharu, Ishino, Masahiko, Kinoshita, Hiroo, Inubushi, Yuichi, Higashiguchi, Takeshi, Washio, Masakazu, Sakaue, Kazuyuki, Owada, Shigeki, Hatano, Tadashi, Hatayama, Masatoshi, Ohchi, Tadayuki, Hung, Dinh-Thanh, Kon, Akira, Hara, Hiroyuki, Yamauchi, Shun, Ogura, Takuto, Shinozaki, Natumi, Koshiba, Yutaka, Takahashi, Takashi, Nishidome, Takehiro, Oku, Satoshi

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Study on Organic Thin Film Ablation Using Femtosecond Extreme Ultraviolet Pulses von Sakaue, Kazuyuki, Ishino, Masahiko, Itani, Toshiro, Inubushi, Yuichi, Ichimaru, Satoshi, Owada, Shigeki, Ogura, Takuto, Kinoshita, Hiroo, Koshiba, Yuya, Kon, Akira, Santillan, Julius, Shinozaki, Natsumi, Takahashi, Takashi, Tamura, Toshiki, Hung, Dinh-Thanh, Nishikino, Masaharu, Nishidome, Takehiro, Hatano, Tadashi, Hara, Hiroyuki, Higashiguchi, Takeshi, Yamauchi, Shun, Washio, Masakazu

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フェムト秒極端紫外レーザー光による有機薄膜のアブレーションに関する研究 von 坂上, 和之, 石野, 雅彦, 井谷, 俊郎, 犬伏, 雄一, 市丸, 智, 大和田, 成起, 小倉, 拓人, 木下, 博雄, 小柴, 裕也, 今, 亮, Santillan, Julius, 篠崎, 夏美, 高橋, 孝, 田村, 賢紀, Hung, Dinh-Thanh, 錦野, 将元, 西留, 武宏, 羽多野, 忠, 原, 広行, 東口, 武史, 山内, 駿, 鷲尾, 方一

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フェムト秒極端紫外レーザー光照射によるEUV多層膜のアブレーション von 市丸, 智, 錦野, 将元, 石野, 雅彦, 木下, 博雄, 犬伏, 雄一, 東口, 武史, 鷲尾, 方一, 坂上, 和之, 大和田, 成起, 羽多野, 忠, 畑山, 雅俊, 大知, 渉之, Hung, Dinh-Thanh, 今, 亮, 原, 広行, 山内, 駿, 小倉, 拓人, 篠崎, 夏美, 小柴, 裕, 高橋, 孝, 西留, 武宏, 奥, 哲

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