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The SKIF X–Techno Beamline Project
Veröffentlicht in Surface investigation, x-ray, synchrotron and neutron techniques
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Deep 3D X-ray Lithography Based on High-Contrast Resist Layers
Veröffentlicht in Technical physics letters
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Regular Microstructures Based on Polyethylene Terephthalate Films
Veröffentlicht in Technical physics letters
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Multifunctional X-ray Lithography Station at VEPP-3
Veröffentlicht in Physics procedia
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