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    Development and Research of the Sensitive Element of the MEMS Gyroscope Manufactured Using SOI Technology

    Development and Research of the Sensitive Element of the MEMS Gyroscope Manufactured Using SOI Technology von Naumenko, Danil, Tkachenko, Alexey, Lysenko, Igor, Kovalev, Andrey

    Veröffentlicht in Micromachines (Basel)

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