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High-aspect etching of b-Ga2O3 by hydrogen atmosphere anisotropic thermal etching (HEATE)
von
Ooe, Yuuki
,
Namae, Yuske
,
Matsuoka, Akihiro
,
Kawasaki, Yusei
,
Ito, Daichi
,
Moriya, Yuuta
,
Togashi, Rie
,
Kikuchi, Akihiko
Veröffentlicht in
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法による(010)面 b-Ga₂O₃の高アスペクト異方性エッチング
von
大江, 優輝
,
生江, 祐介
,
松岡, 明裕
,
川崎, 祐生
,
伊藤, 大智
,
森谷, 祐太
,
富樫, 理恵
,
菊池, 昭彦
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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