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    Precise profile control of 3D lateral junction traps by 2D mask layout and isotropic etching

    Precise profile control of 3D lateral junction traps by 2D mask layout and isotropic etching von Yobas, Levent, Sharma, Rajnish Kumar, Nagarajan, Ranganathan, Samper, Victor D, Naidu, Priya Sarapna Rajoo


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