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AC Plasma assist effect for diamond film deposition by hot-filament CVD
von
Suzuki, Satoshi
,
Nagase, Atsurou
,
Seki, Nobuyuki
,
Asai, Hidekatsu
,
Kanzaki, Seiji
,
Shiraishi, Tadashi
,
Koinuma, Hideomi
Veröffentlicht in
Journal of Advanced Science
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