EUV PELLICLES von NOTENBOOM ARNOUD W, NASALEVICH MAXIM A, KLEIN ALEXANDER L, VLES DAVID F, KURGANOVA EVGENIA, VAN ZWOL PIETER-JAN

Volltext bestellen

PELLICLE FRAME AND PELLICLE ASSEMBLY von NOTENBOOM ARNOUD W, DUYS ANTON W, NASALEVICH MAXIM A, PETER MARIA, VLES DAVID F, VAN ZWOL PIETER-JAN

Volltext bestellen

Pellicle membrane for lithographic apparatus von NOTENBOOM ARNOUD W, VAN DER WOUDE, TEUNIS, W, HOUWELING ZOHAR SILVESTER, VAN DE KERKHOF MARCUS ADRIANUS, DONMEZ NOYAN INCI, NIKIPALOV, ALEXEI, VLES DAVID, VERMEIREN PAUL ALEXANDER, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, DOLGOV ALEXANDR, VORONINA VICTORIA, BERNDTSSON STEFAN, YEGGEN KHALIL GOEKE

Volltext bestellen

Pellicle membrane von BIRON, MOSHE, NOTENBOOM ARNOUD W, VAN DER WOUDE, TEUNIS, W, DONMEZ NOYAN IVAN, FERRELIN, LUDOVIC, JANSSEN PAUL, GIESBERS ADRIANUS JOHANNES MARIA, KLOOTWIJK JOHAN HENDRIK, QUENTZEL JOHANNES HENDRIKUS WILHELMUS, ROLLIER ANNE-SOPHIE, VAN ZWOL PIETER-JAN

Volltext bestellen

METAL-SILICIDE-NITRIDATION FOR STRESS REDUCTION von NOTENBOOM ARNOUD W, NASALEVICH MAXIM A, PETER MARIA, VAN DER WOORD TIES W, VLES DAVID F, KLOOTWIJK JOHAN H, SJMAENOK LEONID A, GIESBERS ADRIANUS J M, KURGANOVA EVGENIA, VAN ZWOL PIETER-JAN

Volltext bestellen

METHOD OF MANUFACTURING A MEMBRANE ASSEMBLY von BALTUSSEN SANDER, NOTENBOOM ARNOUD W, VAN DER WOORD TIES, VALEFI MAHDIAR, FRANKEN JOHANNES CHRISTIAAN LEONARDUS, KLEIN ALEXANDER L, KNAPEN PETER SIMON ANTONIUS, ZDRAVKOV ALEKSANDAR NIKOLOV, DE GRAAF DENNIS, KUZNETSOV ALEXEY SERGEEVICH, GIESBERS ADRIANUS JOHANNES MARIA, VAN DEN EINDEN WILHELMUS THEODORUS ANTHONIUS JOHANNES, VAN DE KERKHOF MARCUS A, WONDERGEM HENDRIKUS JAN, KLOOTWIJK JOHAN HENDRIK, KURGANOVA EVGENIA, VAN ZWOL PIETER-JAN

Volltext bestellen