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Ab initio study of boron segregation and deactivation at Si/SiO2 interface
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
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Local bonding effect on the defect states of oxygen vacancy in amorphous HfSiO4
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Ab initio study of boron segregation and deactivation at Si/SiO 2 interface
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
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Local bonding effect on the defect states of oxygen vacancy in amorphous HfSiO 4
Veröffentlicht in Applied physics letters
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