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Design of a Reliable p-Channel LDMOS FET With RESURF Technology
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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Sacrificial CVD film etch-back process for air-gap Cu interconnects
Veröffentlicht in Thin solid films
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Control of photocorrosion in the copper damascene process
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Dominant factors in TDDB degradation of Cu interconnects
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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Multilevel Interconnect With Air-Gap Structure
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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