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Control of large area VHF plasma produced at high pressure
Veröffentlicht in Thin solid films
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Characteristics of SiH4/H2 VHF plasma produced by short gap discharge
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Large Area SiH4/H2 VHF Plasma Produced with Multi-Rod Electrode
Veröffentlicht in Plasma processes and polymers
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