Suchergebnisse - NAGAIE TAKEHIKO | OPAC THWS

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SYSTEM AND METHOD FOR SIMULTANEOUS MONITORING OF MULTIELEMENT RATE, AND FILM DEPOSITION DEVICE AND FILM DEPOSITION METHOD von NAGAIE TAKEHIKO, HAN HIN

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2

OPTICAL FILM THICKNESS CONTROL DEVICE, THIN FILM FORMATION DEVICE, OPTICAL FILM THICKNESS CONTROL METHOD, AND THIN FILM FORMATION METHOD von HAN HIN, NAGAIE TAKEHIKO, ZHANG YONGLIN, KAWASAKI NAOKI

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3

THIN FILM FORMING APPARATUS, AND THIN FILM FORMING METHOD von NAGAIE TAKEHIKO, HAN HIN

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4

TRANSMITTANCE MONITOR FOR MULTILAYER FILM von NAGAIE TAKEHIKO, OGAMI HIDEHARU

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APPARATUS AND METHOD FOR THIN FILM FORMATION AND OPTICAL FILM THICKNESS MONITORING DEVICE von NAGAIE TAKEHIKO, FAN PING, SHIN TEI, NAMIKI KEIICHI

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6

VACUUM PROCESS DEVICE AND METHOD OF COOLING PROCESS OBJECT IN VACUUM PROCESS DEVICE von HAN HIN, NAGAIE TAKEHIKO, ZHANG YONGLIN, JEONG GUK BU, USUKI TORU

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7

METHOD OF CONTROLLING COMPOSITION OF MULTI-SOURCE DEPOSIT THIN FILM, AND MANUFACTURING APPARATUS von KOBAYASHI TAKAYUKI, HAN HIN, NAGAIE TAKEHIKO

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8

FILM DEPOSITION APPARATUS AND FILM DEPOSITION METHOD von HAN HIN, NAGAIE TAKEHIKO, KOJIMA TAKESHI, KANAZAWA TAKASHI

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9

MASK FOR FILM DEPOSITION, AND FILM DEPOSITION METHOD von HAN HIN, NAGAIE TAKEHIKO, MIURA TOSHIHIKO

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10

FILM THICKNESS QUALITY DISCRIMINATION METHOD OF THIN FILM LAYER von NAGAIE TAKEHIKO, NISHISATO HIROSHI, MIYA TAKESHI, NODA HIROSHI, WANG SHULIN

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11

Optical film forming direct type optical monitoring system and monitoring and measuring method thereof von JIANG ZIHAO, NAGAIE TAKEHIKO, LONG RULEI, ZHANG YONGLIN, MA HUI, SATO FUMIYA, XU BO, PAN SHUYUE, KAMIKAWA HISASHI, WANG YANG, WU PING, KAWASAKI NAOKI

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