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High-k gate stacks for planar, scaled CMOS integrated circuits
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Physicochemical properties of HfO2 in response to rapid thermal anneal
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Subnanometer scaling of HfO2/metal electrode gate stacks
Veröffentlicht in Electrochemical and solid-state letters
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