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A new mathematical procedure to evaluate peaks in complex chromatograms
Veröffentlicht in Journal of Chromatography A
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Dry etch challenges of 0.25 μm dual damascene structures
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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An optimized method for airborne peroxyacetyl nitrate (PAN) measurements
Veröffentlicht in Journal of atmospheric chemistry
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Interlaboratory calibration of peroxyacetyl nitrate liquid standards
Veröffentlicht in Atmospheric environment (1994)
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Selectivity and Si-load in deep trench etching
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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