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1
TXRF capability of metallic contamination analysis on rough silicon wafers
von
Yim, Viviane
,
Mukhtarov, Anna
,
Drogue, Nathalie
,
Autillo, Delphine
,
Lardin, Thierry
,
Zussy, Marc
,
Dechamp, Jérôme
,
Truffier-Boutry, Delphine
Veröffentlicht in
Journal of materials research
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2
Development of Intentional Contamination in Iron by Bath for Silicon Wafers and Evaluation of VPD-Bulk and LPD-Bulk for Metallic Contaminants Analyses by ICPMS
von
Mukhtarov, Anna
,
Yim, Viviane
,
Truffier-Boutry, Delphine
,
Galtayries, Anouk
Veröffentlicht in
Solid state phenomena
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Artikel
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3
Investigation into Cu diffusion at the Cu/SiO2 hybrid bonding interface of 3D stacked integrated circuits
von
Ayoub, Bassel
,
Lhostis, Sandrine
,
Moreau, Stéphane
,
Mattei, Jean-Gabriel
,
Mukhtarov, Anna
,
Frémont, Hélène
Veröffentlicht in
Microelectronics and reliability
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Engineering Sciences
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Cu Thermal Diffusion
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Cu2O Or Cuprous Oxide
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Diffusion Layers
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Erscheinungsjahr
Von:
Bis:
Quelle
Proquest Central Uk/Ireland
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Proquest Central
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Springer Nature Oa Free Journals
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Proquest One Community College
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1
Scientific.net Journals
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Cambridge University Press Journals Complete
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Ingenta Connect
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Access Via Sciencedirect (Elsevier)
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Springernature Journals
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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