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Selective tungsten CVD on submicron contact hole
Veröffentlicht in Thin solid films
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An efficient improvement for barrier effect of W-filled contact
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Thermal stability of W-contacted junction diodes
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Deposition properties of selective tungsten chemical vapor deposition
Veröffentlicht in Materials chemistry and physics
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