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    Electrochemical etching strategy for shaping monolithic 3D structures from 4H-SiC wafers

    Electrochemical etching strategy for shaping monolithic 3D structures from 4H-SiC wafers von Hochreiter, André, Groß, Fabian, Möller, Morris-Niklas, Krieger, Michael, Weber, Heiko B.

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    Electrochemical etching strategy for shaping monolithic 3D structures from 4H-SiC wafers

    Electrochemical etching strategy for shaping monolithic 3D structures from 4H-SiC wafers von Hochreiter, André, Groß, Fabian, Morris-Niklas Möller, Krieger, Michael, Weber, Heiko B

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