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Conformal doping mechanism for fin field effect transistors by self-regulatory plasma doping with AsH3 plasma diluted with He
von
Sasaki, Yuichiro
,
Okashita, Katsumi
,
Mizuo, Bunji
,
Kubota, Masafumi
,
Ogura, Mototsugu
,
Nishijima, Osamu
Veröffentlicht in
Journal of applied physics
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Conformal doping mechanism for fin field effect transistors by self-regulatory plasma doping with AsH 3 plasma diluted with He
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