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Effects of the modified materials on plasma in surface modification by plasma
von
Katoh, Masaaki
,
Miyazaki, Hirokatu
,
Miyashita, Kiyoshi
,
Ohi, Seiya
,
Tajima, Kenichi
,
Ohte, Takeo
,
Kojima, Akira
,
Ohtani, Sugio
Veröffentlicht in
Applied surface science
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Effects of the modified materials on plasma in surface modification by plasma
von
KATOH, Masaaki
,
MIYAZAKI, Hirokatu
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MIYASHITA, Kiyoshi
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OHI, Seiya
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TAJIMA, Kenichi
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OHTE, Takeo
,
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,
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