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Cleaning of MBE GaAs substrates by hydrogen radical beam irradiation
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Zn and Si ion emission from Au-Zn-Si LM ion source
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Focused Si ion implantation in GaAs
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Alignment accuracy of focused ion beam implantation
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Novel methods for measuring diameter of focused ion beam
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Positional stability of focused ion beams
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