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Dependence of process damage on GaN channel thickness in AlGaN/GaN high-electron-mobility transistors with back-barrier layers von Ito, Yoshikaze, Tamai, Seita, Hoshi, Takuya, Gotow, Takahiro, Miyamoto, Yasuyuki

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性質・分析 von 作井, 誠太, 中村, 正久, 松田, 明教, 荒木, 透, 谷地, 重男, 太田, 隆美, 岡本, 一生, 中村, 貞男, 仕幸, 三郎, 結城, 晋, 梶川, 和男, 山口, 旻, 大岡, 耕之, 竹内, 英麿, 高橋, 愛和, 岩崎, 巌, 加畑, 長, 小口, 哲夫, 堀寵, 健男, 山崎, 桓友, 矢部, 克彦, 城本, 義光, 松岡, 宏, 木場, 崇一, 湖海, 克明, 桑野, 芳一, 館, 充, 萩原, 卓, 楢木, 兼俊, 田中, 清之, 津金, 不二夫, 沢井, 富美雄, 斎藤, 伸, 鎌倉, 正孝, 宮本, 安, 長村, 繁雄, 原田, 尚信, 若松, 茂雄, 神森, 大彦, 川瀬, 平久, 坂井, 光一

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