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Master-oscillator power-amplifier (MOPA) excimer or molecular fluorine laser system with long optics lifetime
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SCHMIDT THOMAS
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GOVORKOV SERGEI V
,
WIESSNER ALEXANDER O
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PAETZEL RAINER
,
HUA GONGXUE
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MISURYAEV TIMUR
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Govorkov, Sergei V
,
Hua, Gongxue
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