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$Multi-wavelength VIS/UV optical diffractometer for high-accuracy calibration of nano-scale pitch standards$

Multi-wavelength VIS/UV optical diffractometer for high-accuracy calibration of nano-scale pitch standards von Buhr, Egbert, Michaelis, Winfried, Diener, Alexander, Mirandé, Werner

Veröffentlicht in Measurement science & technology

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Fourier-Optik und Holographie von Menzel, Erich, Mirande, Werner, Weingartner, Ingolf

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Fourier-Optik und Holographie von Menzel, E, Mirandé, W, Weingärtner, I

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Fourier-Optik und Holographie von Menzel, Erich, Mirande, Werner, Weingärtner, Ingolf

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Fourier-Optik und Holographie von Menzel, E., Mirandé, W., Weingärtner, I.

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Elisabeth Schwarzkopf

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