-
1
-
2
-
3
Multilevel beam SOI-MEMS fabrication and applications
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
VolltextArtikel -
4
-
5
-
6
-
7
-
8
Deep reactive ion etching for lateral field emission devices
Veröffentlicht in IEEE electron device letters
VolltextArtikel -
9
Large-displacement vertical microlens scanner with low driving voltage
Veröffentlicht in IEEE photonics technology letters
VolltextArtikel -
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
CMOS foundry implementation of Schottky diodes for RF detection
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
VolltextArtikel -
20