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    Establishment and Development of Ruminal Hydrogenotrophs in Methanogen-Free Lambs

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    PECVD, RF vs Dual Frequency: investigation of plasma influence on metalorganic precursors decomposition and material characteristics

    PECVD, RF vs Dual Frequency: investigation of plasma influence on metalorganic precursors decomposition and material characteristics von Piallat, Fabien, Vallée, Christophe, Gassilloud, Rémy, Michallon, Philippe, Pélissier, Bernard, Caubet, Pierre


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    Evaluation of plasma parameters on PEALD deposited TaCN

    Evaluation of plasma parameters on PEALD deposited TaCN von Piallat, Fabien, Beugin, Virginie, Gassilloud, Remy, Michallon, Philippe, Dussault, Laurent, Pelissier, Bernard, Asikainen, Timo, Maes, Jan Willem, Martin, François, Morin, Pierre, Vallée, Christophe

    Veröffentlicht in Microelectronic engineering

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