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1
Photoresist compositions with cyclic olefin polymers and additives, patterned photoresist structure, and the method of forming the same
von
VARANASI, PUSHKARA RAO
,
MEWHERTER, ANN MARIE
,
LAWSON, MARGARET C
,
MANISCALCO, JOSEPH F
,
KHOJASTEH, MAHMOUD M.
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2
High resolution photoresist compositions
von
Barclay, George
,
Heumann, Robert
,
Rutter, Edward
,
Chen, Jung-Kuang
,
Lawson, Margaret
,
Jordhamo, George
,
Hughes, Timothy
,
Moreau, Wayne
,
Mewherter, Ann
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3
High resolution photoresist compositions
von
RUTTER EDWARD W
,
CHEN JUNG-KUANG R
,
HEUMANN ROBERT G
,
LAWSON MARGARET C
,
MEWHERTER ANN MARIE
,
JORDHAMO GEORGE M
,
HUGHES TIMOTHY M
,
BARCLAY GEORGE G
,
MOREAU WAYNE M
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4
METHOD FOR PREPARING PHOTORESIST COMPOSITION
von
CHEN JUNG-KUANG R
,
HEUMANN ROBERG G
,
MEWHERTER ANN MARIE
,
JORDHAMO GEORGE M
,
BARCLAY GEORGE G
,
MOREAU WAYNE M
,
RUTTER EDWARD W JR
,
TIMOTHY M HUGHES
,
MARGARET C LAWSON
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5
High resolution photoresist compositions
von
MEWHERTER, ANN MARIE
,
LAWSON, MARGARET C
,
HUGHES, TIOMOTHY M
,
MOREAU, WAYNE M
,
RUTTER, EDWARD W., JR
,
HEUMANN, ROBERG G
,
CHEN, JUNG-KUANG R
,
BARCLAY, GEORGE G
,
JORDHAMO, GEORGE M
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Patent
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6
Photoresist composition comprises a cyclic olefin polymer, a photosensitive acid generator and a hydrophobic additive selected from non-steroidal (multi)-alicyclic components and a...
von
VARANASI, PUSHKARA RAO
,
MEWHERTER, ANN MARIE
,
ITO, HIROSHI
,
WALLOW, THOMAS I
,
LAWSON, MARGARET C
,
MANISCALCO, JOSEPH F
,
OPITZ, JULIANN
,
PIETRO, RICHARD A. DE
,
ALLEN, ROBERT D
,
JORDHAMO, GEORGE M
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7
PHOTORESIST COMPOSITIONS WITH CYCLIC OLEFIN POLYMERS AND ADDITIVE
von
ROBERT D. ALLEN
,
PUSHKARA RAO VARANASI
,
JOSEPH F. MANISCALCO
,
JULIANN OPTIZ
,
MARGARET C. LAWSON
,
THOMAS I. WALLOW
,
GEORGE M. JORDHAMO
,
RICHARD A. DEPIETRO
,
ANN MARIE MEWHERTER
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8
PHOTORESIST COMPOSITIONS WITH CYCLIC OLEFIN POLYMERS AND ADDITIVE
von
ROBERT D. ALLEN
,
MAHMOUD M. KHOJASTEH
,
HIROSHI ITO
,
PUSHKARA RAO VARANASI
,
JOSEPH F. MANISCALCO
,
MARGARET C. LAWSON
,
JULIANN OPTIZ
,
GEORGE M. JORDHAMO
,
ANN MARIE MEWHERTER
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Patent
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9
High resolution photoresist compositions
von
CHEN JUNG-KUANG R
,
RUTTER EDWARD W. JR
,
HUGHES TIOMOTHY M
,
HEUMANN ROBERG G
,
LAWSON MARGARET C
,
MEWHERTER ANN MARIE
,
JORDHAMO GEORGE M
,
BARCLAY GEORGE G
,
MOREAU WAYNE M
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