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    Electron beam induced deposition of low resistivity platinum from Pt ( P F 3 ) 4 a

    Electron beam induced deposition of low resistivity platinum from Pt ( P F 3 ) 4 a von Barry, John D., Ervin, Matthew, Molstad, Jay, Wickenden, Alma, Brintlinger, Todd, Hoffman, Patrik, Meingailis, John


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