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Mechanism of Surface Charging Effects on Etching Profile Defects
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Direct measurement of surface charging during plasma etching
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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A tuned langmuir probe for measurements in rf glow discharges
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Charging damage to gate oxides in an O2 magnetron plasma
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Ion trajectory distortion and profile tilt by surface charging in plasma etching
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Model for oxide damage from gate charging during magnetron etching
Veröffentlicht in Applied physics letters
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