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Thermal stability of thin submicrometer lines of CoSi2
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Improved stability of thin cobalt disilicide films using BF2 implantation
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Incorporation of metal silicides and refractory metals in VLSI technology
Veröffentlicht in Applied surface science
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Low voltage electron emission from Pb(Zr x Ti1− x )O3-based thin film cathodes
Veröffentlicht in Applied physics letters
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High resistivity Co and Ti silicide formation on silicon-on-insulator substrates
Veröffentlicht in Thin solid films
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